質(zhì)量流量計(jì)實(shí)物圖:
下圖:熱式質(zhì)量流量計(jì)顯示表:
熱式質(zhì)量流量計(jì)性能特點(diǎn):
●量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●準(zhǔn)確度:±1%F.S
●線性度:±0.5~1% F.S
●重復(fù)精度:±0.2% F.S
●響應(yīng)時(shí)間:10S
●氣壓降: <0.01MP
●最大壓力:10MP
●工作環(huán)境溫度: 5~45℃
●輸出信號(hào):0~+5.00V
●電源:+15V 50mA -15V 200mA
●外形尺寸:158.7*60*198,161.7*60*198可選
●重量:2.5 Kg
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